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超高真空全金屬插板閥 | 為大科學裝置研究而生

更新時間:2025-12-11      點擊次數:8

超高真空全金屬插板閥 | 為大科學裝置研究而生

HTC日揚科技設計的全金屬插板閥適用于超高真空的環境下(10??Pa~10??Pa),采用HTC Disc金屬密封技術,其壓力范圍一般在UHV~1.2bar(abs),漏率zui di能做到<1×10?1? mbar?L/s的可靠密封。依據開啟方式不同分為手動/氣動式,以及是否有shielding射頻屏蔽功能,可實現耐溫150℃~250℃不等。近年來在國內的大科學裝置研究、表面分析半導體制造項目中,已經有許多成功試裝案例,其zhuo yue可靠性得到市場驗證。



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-日揚全金屬插板閥-

• 穩定開啟,可靠隔離,適用于超高真空

• 全金屬結構,耐極限高低溫、抗輻射

• 可帶RF/waveguide shielding功能

• 可作為微波傳輸線路中的隔離閥使用

1

CF35、CF63和DF78

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全金屬插板閥多用于高能物理實驗室項目之中,故有著阻斷射頻信號泄漏 / 侵入,保障粒子束傳輸穩定的需求,于此要求插板閥帶有射頻屏蔽功能。此外,低漏率、耐高溫、高潔凈度、抗輻射、高壽命以及穩定可靠是衡量一款全金屬插板閥優秀的重要標準,在這方面,日揚配合客戶成功研制出CF35、CF63和DF78等型號的全金屬插板閥,成為為數不多實現技術突破的國產廠商。

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Class6千級無塵室生產

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全金屬插板閥相關案例

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2020年,日揚與SHINE項目合作,在國內硬X射線自由電子激光裝置項目之中,shou ci攻破全金屬插板閥的金屬與金屬間硬密封、高精度定位等關鍵技術難題,并且樣機成功交付,該全金屬高頻屏蔽門閥被安裝在超導加速器電子束流通道中,工作在超高真空、超潔凈、液氦低溫、射頻場和電離輻射復雜環境條件下。

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此后數年,日揚科技相繼在CF35、CF63等尺寸閥門上獲得突破。依據客戶不同的實際環境需求,其他尺寸也在開發中,并持續提高性能、優化數據以真正實現國產替代,為國內的大科學裝置研究貢獻力量。

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全金屬插板閥驗收與交付

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CF35 RF氣動全金屬插板閥

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CF63氣動全金屬插板閥

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